TopMap Pro.Surf系列產品,基于白光干涉原理,以最前沿的CSI與Corelogram相結合的CST技術為核心,是一款極具特點的光學3D輪廓儀。TopMap Pro.Surf系列光學3D輪廓儀集非接觸、大視場、納米級精度和70mm超大掃描范圍等技術特點于一身,能夠滿足從光滑到粗糙表面、從極深色、超低反射率到全反射表面等幾乎所有表面輪廓的測量,此外還能夠提供基于ISO25178/1101/4287/13565/21920/12781和ASME B46等標準的多種參數分析與評價,如粗糙度、平面度、臺階高度、平行度、波紋度等,廣泛應用于汽車工業、燃油噴射系統、傳動、密封、光學加工、精密半導體及3C行業和航天、航空、國防軍工和科研院所等領域。
典型應用:
半導體:襯底、外延片平坦度和形貌測量,精密器件及傳感器
汽車行業:空氣懸掛組件,精密傳動組件,燃油噴射系統,高壓油泵
密封行業:精密密封表面、泵閥類密封組件
表面工程:摩擦學,涂層厚度,形變分析
3C電子:電子元件平整度,引腳位置,屏幕平面度、厚度均勻性,印刷電路
手表:組件平面度、臺階高度、平行度、輪廓,表鏡