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Pro.Surf大視場3D輪廓儀

        TopMap Pro.Surf系列產品,基于白光干涉原理,以最前沿的CSI與Corelogram相結合的CST技術為核心,是一款極具特點的光學3D輪廓儀。TopMap Pro.Surf系列光學3D輪廓儀集非接觸、大視場、納米級精度和70mm超大掃描范圍等技術特點于一身,能夠滿足從光滑到粗糙表面、從極深色、超低反射率到全反射表面等幾乎所有表面輪廓的測量,此外還能夠提供基于ISO25178/1101/4287/13565/21920/12781和ASME B46等標準的多種參數分析與評價,如粗糙度、平面度、臺階高度、平行度、波紋度等,廣泛應用于汽車工業、燃油噴射系統、傳動、密封、光學加工、精密半導體及3C行業和航天、航空、國防軍工和科研院所等領域。


典型應用:


  • 半導體:襯底、外延片平坦度和形貌測量,精密器件及傳感器

  • 汽車行業:空氣懸掛組件,精密傳動組件,燃油噴射系統,高壓油泵

  • 密封行業:精密密封表面、泵閥類密封組件

  • 表面工程:摩擦學,涂層厚度,形變分析

  • 3C電子:電子元件平整度,引腳位置,屏幕平面度、厚度均勻性,印刷電路

  • 手表:組件平面度、臺階高度、平行度、輪廓,表鏡

需要報價
  • 1.45nm分辨率

  • 單次掃描視場高達45x34mm,支持視場拼接拓展至228x221mm

  • 橫向分辨率低至14.3微米

  • 非接觸、垂直掃描測量模式,掃描范圍達70mm

  • 沒有外置物鏡,無碰撞風險

  • 磁懸浮式掃描導軌,無損耗

  • 高精度:

    典型平面度偏差優于75納米

    典型臺階高度偏差優于0.026%(評估≥0.45mm臺階)

  • 高重復性:

    平面度重復性偏差優于5納米

    臺階高度重復性優于0.011%(評估≥0.45mm臺階)

  • 支持深孔和盲孔測量

  • 支持隔窗測量

  • 支持在線集成方案