TopMap MicroView系列光學3D輪廓儀是一款功能強大的非接觸式表面輪廓測量儀器，基于白光干涉原理，以最前沿的CSI與Corelogram相結合的CST技術為核心，是最新一代光學3D輪廓儀。TopMap MicroView系列光學3D輪廓儀擁有了無與倫比的測量能力，能夠滿足從超光滑到粗糙表面、從極深色、超低反射率到全反射表面等幾乎所有表面輪廓的測量，并且在所有倍率物鏡下都能提供亞納米級測量精度，此外，TMS軟件還能夠提供基于ISO25178/1101/4287/13565/21920/12781和ASME B46等標準的多種參數分析與評價，例如，粗糙度、平面度、臺階高度、微觀幾何輪廓、波紋度等。
典型應用：
精密加工：粗糙度，微觀結構，加工機理分析
光學元件制造：粗糙度，面型輪廓
半導體：晶圓磨拋，IC制造，微型器件
表面工程：摩擦學，涂層，缺陷，變形
3C電子：屏幕粗糙度，殼體表面質量
生物醫療：植入物粗糙度、輪廓
材料科學：材料結構、顏色
